广东省洁净技术行业协会

协会“开讲有益”系列直播课又开讲啦！

主题：《气态分子污染及控制技术》

主讲人：裴晶晶 

天津大学环境科学与工程学院副教授 博导，天津市室内空气质量控制重点实验室 副主任。天津市创新人才推进计划青年科技优秀人才。研究方向围绕建筑环境室内气体污染物控制，涉及室内气态污染物的“认知”-污染物图谱及源特性分析、“净化”-低温低浓度污染物吸附及催化氧化净化机理、“测评”-气体污染物净化材料及装置性能评价体系。

共发表第一／通讯作者论文33篇。获建筑环境领域顶级期刊最佳论文奖2篇。获天津市技术发明二等奖1项，天津市专利金奖1项，授权发明专利5项。先后主持2项国家自然科学基金项目，2项国家重点研发计划子课题， 5项国际合作项目等30余项国家级、省部级、及企业合作项目，主持的科研经费达1800余万元。

课程简介： 随着半导体工业的发展，气态分子污染物（AMC，Airborne Molecular Contaminant）已逐渐取代颗粒污染物而成为影响半导体制程及良率的关键因素之一。本报告基于《气态分子污染及控制技术》，针对半导体工艺洁净厂房内的气态分子污染物的分类、影响及危害标准及检测，净化机理，净化材料，控制系统及设备，净化性能测试七个方面进行介绍，旨在为相关的学者、研究人员及工程技术人员提供相关背景知识及研究进展介绍。

8月26号晚19:30-21:30敬请锁定协会直播间！（扫描下方图片二维码进入直播间）